真空泵的检漏技术
压力检漏:
真空容器内冲入一定压力的示漏气体,示漏气体从漏孔漏出,用传感器检测示漏气体的出现,判断漏孔的位置;大小。
水压法,压降法,听音法;超声波法,气泡法;卤素检漏法;氨检漏法;同位素检漏;质谱检漏。
真空检漏方法:
被检容器和传感器处于真空状态,示漏气体施加在容器外,如果漏入容器内,传感器检测到,从而判断漏孔所在
静态升压法;放电管法;高频火花检漏;真空规检漏;卤素检漏法;离子泵检漏;氦质谱检漏法
常用的方法:气泡法(10-2-10-4TorrL/s)。
放电管法(10-2TorrL/s)
规管法
氦质谱法(10-8TorrL/s)
喷洒 CH3OH or C2H5OH 到漏孔处, 观测压力上升
丙酮: OK 对金属, 有害于 O-ring, 有害于健康
响应时间 ~ 几秒钟, 不能移动太快.
溶剂挥发干需要时间. 响应消除时间长
从地处往高处逐步检.
氦气检漏:
喷洒氦气
需要质谱仪、残余气体分析仪 or 氦气探测器
快速 ≲ 1 sec ∵ 质量轻 ∴ 速度快
氦气容易被抽空
背景低
惰性
氦气扩散快. ⇒ 判定漏孔