滑阀式真空泵
滑阀泵主要由泵体及在其内部作偏心转动的滑阀、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。 泵体中装有滑阀环(4)，滑阀环内装有偏心轮(3)，偏心轮固定在轴(2)上，轴与泵体中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5)，它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动，因此泵腔被滑阀环和滑阀杆分隔成A、B两室。
泵在运转过程中，由于A、B两室容积周期性地改变，使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔；同时，在排气腔随着其容积的缩小而使气体受压缩，并通过排气阀排出泵外。
滑阀泵亦分单级泵和双级泵，有立式和卧式两种结构形式。双级泵是由两个单级泵串联起来的，它的高、低真空室在同一泵体上，有的是直接铸成一个整体，有的是压入中隔板把泵腔分成高、低两室。
单级泵的极限压力为0.4~1.3Pa；双级泵的极限压力为6×10-2 ~10-1Pa。一般抽速超过150L/s的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用，也可作其它泵的前级泵用。
