目前主要的涡旋真空泵的种类有哪些：
获得低真空的独立设备是机械泵。作为前置泵，获得高真空泵作为二级泵。
目前主要有涡旋真空泵
1、立式油润滑涡旋真空泵
2、水冷式干涡旋真空泵
3、风冷式干涡旋真空泵
4、带波纹管密封的干涡旋真空泵
立式油润滑涡旋真空泵
泵的径向间隙具有密封方便的优点还有控制。与当时市场上广泛使用的叶片式真空泵相比，涡旋式真空泵具有更高的容积效率。
同时，该型真空泵体现了涡流真空泵的高效性，并对如何消除间隙容积和控制间隙提出了有效的方法。
但由于缺乏冷却装置，真空泵的应用受到很大限制。同时，随着半导体工业的发展，该系统已不能满足清洗和耐腐蚀的要求。
