水冷式干涡流真空泵与风冷式干式涡流真空泵的原理区别和现状
BOC公司的波纹管密封干式涡流真空泵也推出了风冷式干式涡流真空泵。泵采用全封闭结构，在静盘端部装有单面涡环结构和冷却风扇。其最大特点是运动盘与机架之间采用金属波纹管连接，主要有以下两个优点：①波纹管结构具有密封功能，将泵内真空环境与外界环境隔离，从而最大限度地避免工作介质泄漏到大气中，扩大了涡流真空泵的使用范围，并可用于某些特殊气体的脱除。② 波纹管结构具有防止转盘转动的功能，取代了常用的曲柄防转机构，使结构更加紧凑。③波纹管结构可根据动盘上力的变化提供轴向和径向补偿，提高了密封效果。
但目前金属波纹管主要用于管道中，在工作时处于静态状态。在涡流真空泵中，波纹管处于运动状态。因此，它必须是灵活的。但目前市场上的金属波纹管大多具有更高的硬度和较小的柔韧性。因此，研制合适的金属波纹管是该结构在干式涡流真空泵中有效应用的重要前提之一。
水冷式干涡流真空泵
随着涡流真空泵在半导体工业中应用的不断扩大，人们开始关注干涡流真空泵的研究。因此人们研制了一种无油无液的干式涡流真空泵。
其中，采用水冷干式涡流真空泵解决了泵内各部件的润滑和冷却问题。冷却水通过主轴中的通道冷却电机、轴承、轴封等。为了避免低温导致泵腔内气体凝结，冷却水不冷却工作腔。有效地解决了热变形引起的接触问题和离心力引起的振动问题。缺点是冷却水回路不可避免地会导致结构的复杂性。
为了解决水冷结构复杂的问题，人们研制了一种风冷式干式涡流真空泵。即风冷式干涡流真空泵。
为了提高泵的泵速，采用了双面涡环结构。涡流的优点是：①泵送速度是普通涡流的两倍。运动盘的轴向力具有自平衡的特点。主轴装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的末端。主轴转动时带动风机一起转动，达到对涡流的冷却效果。同时采用半封闭结构解决电机的冷却问题。因此，真空泵的结构更加紧凑，易于组装。然而，双面涡的结构要求运动圆盘具有高度的轴对称性，并且难以加工。前者结构紧凑，易于组装；后者密封性能好，适合于某些特殊气体的抽放。但其制造技术难度大，不利于国产干涡流真空泵的工业化生产。目前，我国干涡流真空泵的发展还处于起步阶段，产品主要依靠进口。
价格合理、加工方便、结构紧凑、效率高、可靠性高的干式涡旋真空泵将是该类产品未来的发展趋势。这也是我国大力发展高效机械真空泵的研究方向
