真空泵的几个术语
抽气速率：在泵的入口处，压强为P, 单位时间内抽出的气体量为Q, 抽速Sp =Q/P, 单位：L/s
有效抽气速率：真空泵与真空室之间通常有管道，管道存在压差，减小了泵的抽速。
管道流导为U,
有效抽速 S=SpU/(Sp+U)
起始压强：真空泵开始工作的允许压强，泵的工作原理决定。
有些需要真空下开始工作，因此前级泵是必须的。
极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达到的最低气压，工作介质决定了极限真空。
获得真空的方法：使用真空泵或者吸气剂，真空泵是获得真空的最重要工具。真空泵性能指标决定真空度高低。
如果平均自由程 > 真空室尺寸 ⇒ 分子流 分子的运动互相之间是独立的，分子与墙壁表面的碰撞速率决定真空泵的抽气速度。空度
如果平均自由程 <真空室尺寸 ⇒ 粘滞流分子运动互相影响分子与分子的碰撞决定抽气气流动力学， 真空度
